随着半导体市场的蓬勃发展，清洗业务呈现出加快增长的态势。随着许多企业开始了解颗粒对产品良品率、设备运转率的影响以及降低采购成本的因素，设备及零部件的清洗业务也越来越受到重视。
| Description | Equipment | Process | Material | Solution |
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| Belljar | Endura5500 | Pre Clean P II | Quartz | Wet+Plasma |
| Lid-liner | Endura-5500HP | CVDTin | Ceramic | Wet+Dry |
| Cathode | Tel-8500 | Oxide | Si | Dry |
| 零部件材质 | Ceramic item(陶瓷品名) | |||
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| 零部件照片 |  |
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| 零部件名 | Window | Ceramic dome | Shadow ring | ESC(Ceramic sheet type) |
| 零部件材质 | Quartz item(石英品名) | |||
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| 零部件名 | Quartz dome | Manifold cover | UEL | Susceptor cover |
| 零部件材质 | Silicon(硅) & Silicon carbide item(碳化硅品名) | |||
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| 零部件名 | Inner cell | Electrode | Si Shower head | Susceptor (SiC) |
| 零部件材质 | Metal item(金属品名) | |||
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| 零部件名 | AMAT MAYA ESC | AMAT E-Max ESC | AMAT E-Max Showerhead | ATTO Shower head |
| 零部件材质 | Metal item(金属品名) | |||
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| 零部件照片 |  |
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| 零部件名 | Producer shower head | Selectra faceplate | Selectra SMD Plate | Susceptor cover |
| 零部件材质 | Metal item(金属品名) | |||
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| 零部件照片 |  |
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| 零部件名 | Inner shield | Outer shield | Deposition ring | Shutter disk |
