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半导体
稀释剂(Thinner)
清洗设备残留的光刻胶

稀释剂是去除在半导体和DISPLAY制造过程中基板边缘或是喷嘴上残留的光刻胶,从而使制造设备正常运转的基础材料。在半导体制造当中,为了减少晶片的边缘修复、光刻胶的使用量,会在RRC、光刻胶REWORK以及管道清洗时使用稀释剂。

在TFT-LCD DISPLAY的制造当中,除了EBR工艺以外,稀释剂还应用于光刻胶喷射喷嘴及COATER CUP清洗环节。 ​

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