将金属或金属化合物或非金属化合物加热，熔融成细小的容滴形状，在表面喷涂使其紧密贴合的方法被称为溶射。
加热方法有使用煤气火花或电弧的方法和使用等离子体的等离子溶射。
溶射具有耐蚀、耐热、耐磨等广泛用途，可用于机械零件、飞机、火箭等，后用于半导体/显示器零件。
| 零部件材质 | Coating item(涂层品名) | |||
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| 零部件名 | SEMES Outer liner | SEMES Inner liner | LAM Upper liner | LAM Lower liner |
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